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电阻规管受制造材料、工艺、装配等方面因素的影响,同型号中不同电阻规管的性能有所差异。因此,在使用新的电阻规管时需对真空计进行零点和满度的校准,以降低测量误差。另外真空计使用一段时间,或者是环境温度变化较大,使真空计在大气测量状态下,显示值不为105Pa,也要进行零点和满度的校准。电阻真空计都有零点校准及满度校准按键或旋钮,按照说明书要求进行调校。一般先校准零点,再进行满度校准。
(1)校准零点。校准零点需对被测真空系统抽真空,一旦电离规测得真空度高于1.0-1P啊(如9.9*10-2Pa),按“校零”按钮,对应指示灯亮或快速闪烁,真空计自动校正零点,当显示1.0-1Pa时,表示规管零点已校准。对于无自动零点校准的电阻真空计,可通过操作面板上的电位器旋钮手动调整。
(2)满度校正。校准完零点后,需对其满度校正。按满度校正过程要求,对被测炉腔放入大气,确保被校电阻规所测位置为大气状态,在大气压下工作约10分钟。按“满度”按钮,对应指示灯亮或快速闪烁,真空计自动校正满度,当显示1.05Pa时,表示规管满度已校准。对于无自动满度校准的电阻真空计,可通过操作面板上的电位器旋钮手动调整。
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